ПСА постројење за кисеоник за производњу полуводича
Чистоћа: 98%-99.5%
Генератори кисеоника за производно-техничке индикаторе полуводича
Чистоћа кисеоника:Производња полуводича обично захтева ултра-високу чистоћи кисеоник, што је опћенито потребно да се достигне 99,999% или чак више, како би се осигурао квалитет и перформансе полуводичких производа.
Брзина протока кисеоника:Према продукцији и процесним захтевима производње полуводича, ПСА опрема за кисеонику треба да обезбеди стабилан проток кисике да задовољи непрекидну потражњу кисеоником у процесу производње.
Температура тачке росе:Садржај влаге у кисеонику је потребан да буде изузетно низак, а температура тачке росе обично је потребна да буде испод - 60 степен да спречи влагу да има негативан утицај на поступак производње полуводича.
Садржај нечистоће честица:Садржај нечистоће честица у кисеонику мора бити строго контролисан, што је опћенито потребно да би било испод 0. 1 микрона, како би се избегле нечистоће честица које изазивају оштећења на површини полуводичких чипова.
ПСА кисеоник генератор са ПСА постројењем за кисеоник
Оксидација је основни и критични корак у многим процесним везама производње полуводича. На пример, у оксидационом процесу силиконских вафла, дужно чистоће кисеоник је потребан да би се формирао силицијум диоксид (сиков) слоја. Овај силицијум диоксид слој се може користити као изолациони слој или као маска за наредне процесе. Кисеоник са високим чистоћима које је обезбедила опрема кисеоника ПСА (обично чистоћом до 99.999% или чак више) може да обезбеди тачност и стабилност оксидационе реакције, тако да је генерисан силицијум диоксид уједначен и прецизну дебљину, који је веома важно за производњу полуводичких уређаја високих перформанси (као што су транзистори у интегрисаним круговима).
НТК93 Сериес ПСА кисеоничани постројење за избор модела |
||||||
Снимање бр. |
Модели |
Капацитет (НМ3 / ХР) |
Чистоћа |
Потрошња електричне енергије произведена 1НМ3 кисеоник (КВ / Х) |
Број боца напуњених у 12 сати (рачунари) |
Потребан оператер |
| 1 | НТК -5 п | 5 | 93%+-3% | 3.54 | 10 | 2 |
| 2 | НТК -10 п | 10 | 93%+-3% | 2.52 | 20 | 2 |
| 3 | НТК -15 п | 15 | 93%+-3% | 2.31 | 30 | 2 |
| 4 | НТК -20 п | 20 | 93%+-3% | 2.13 | 40 | 2 |
| 5 | НТК -25 п | 25 | 93%+-3% | 2.01 | 50 | 2 |
| 6 | НТК -30 п | 30 | 93%+-3% | 2.09 | 60 | 2 |
| 7 | НТК -40 п | 40 | 93%+-3% | 1.81 | 80 | 2 |
| 8 | НТК -50 п | 50 | 93%+-3% | 1.94 | 100 | 2 |
| 9 | НТК -60 п | 60 | 93%+-3% | 1.62 | 120 | 2 |
| 10 | НТК -80 п | 80 | 93%+-3% | 1.92 | 160 | 2 |
| 11 | НТК -100 п | 100 | 93%+-3% | 1.83 | 200 | 2 |
| Основа за дизајн: Надморска висина: Мање или једнако 5 0 0М; РХ: мања или једнака 80%; температура: 0 степени -38 степен; притисак пуњења: 150бар 40Л тип стандардни цилиндар | ||||||
Popularne oznake: ПСА постројење за кисеоник за производњу полуводича, Кина ПСА постројење за кисеоник за произвођаче производње полуводича, добављача
